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RQS-HFC-TP01—热式流量传感芯片
发布时间：2023-02-18 浏览：468
RQS-HFC-TP01为热电堆型流量传感芯片，通过MEMS工艺在绝热薄膜上制作1对温敏热电堆器件和1个加热电阻，热电堆器件对称分布于加热电阻的两侧，用于测量流体流动引起加热电阻两端温度对称的变化量。该传感器芯片流量测量范围-300——300SML，具有功耗低，响应快等优势。主要应用于医疗设备（呼吸机、制氧机、麻醉仪）、暖通空调（热水器）、便携仪表（热式燃气表）、工艺控制。
